터치 스크린 패널 장비 (Touch Screen Panel Equipment)
Cell (G2) Exposure Equipments
노광 시스템 배치
- 정전 용량 유형의 터치 스크린 패널을 제조하는데 필요한 노광 시스템
- G2 유형에 가장 적합한 노광 시스템
- ITO Sputtering 후 Photo Resist가 도포된 Substrate를 마스크의 패턴과 비접촉으로 Align 후 노광하는 노광장치이며 Substrate를 투입, Alignment, Exposure, 배출까지 모두 자동으로 실시하는 시스템